衡量光電開關元件敏感材料基本性能的主要指標是彈性儲能（也稱應變能）。彈性儲能是材料在開始塑性變形以前單位體積所吸收的最大彈性變形供。它表示彈性材料吸收變形而不發生永久變形的能力。
（1）常用的彈性合金
常用的彈性合金有兩大類，即高彈性合金和橫彈性合金。
銅基高彈性合金最早得到應用，原因在于銅基合金由于耐高溫、耐腐蝕等性能差，往往不能適應傳感器的進一步要求，用呢人鐵基和鎳基高彈性合金在一些場合逐漸取代鈹青銅作為彈性元件。它們具有彈性高、滯后小、耐腐蝕等特點。
由于高彈性合金的彈性模量E隨溫度變化而明顯變化，從而帶來溫度誤差，所以目前普遍采用恒彈性合金作為光電開關元件敏感材料。恒彈性合金在一定溫度范圍內，其彈性模量溫度系數很小，在一定的溫度范圍內基本上是恒定的。
非金屬彈性材料有陶瓷和半導體硅等。陶瓷在破碎以前，其應力-應變關系始終保持線性，最適合于高溫工作下的彈性元件。
對作為光電開關元件敏感材料的材料一般由一下要求：彈性高，彈性極限高，具有模量溫度系數小而穩定，熱處理后應有均勻穩定的阻值，且各向同性，熱膨脹系數小，具有高的抗氧化、抗腐蝕性能，彈性滯后應盡量小。
（2）若干特殊合金材料
近年來在一些場合也是用非金屬材料作為彈性元件材料，與金屬材料相比，具有的優點是彈性性能高、滯后小、在小位移時其耐疲勞性能、長期穩定性及耐腐蝕性均較好，在一些要求高精度的光電開關元件敏感材料中有時候會被選中作為光電開關元件敏感材料。
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