為確保傳感器精度和性能的長期穩定性，消除彈性元件在機械加工和熱處理中產生的殘余內應力是十分重要的。消除彈性元件殘余內應力的方法很多，通常有一下幾種：
（1）時效。最有效的辦法是長期自然時效（加工后放置半年、一年或更長的時間）；也可采用加溫（100~200°C）存放（數十至數百小時）的人工時效方法，以加速穩定的過程。
（2）退火。由于退火溫度較高（比回火溫度要稍低），保溫時間較長，效果比較明顯。
（3）反復加載和機械振動。采用反復加載和機械振動的辦法，有利于內應力的加速釋放。特別是在應變式光電開關元件敏感器中，在貼片后進行疲勞加載，有利于改善光電開關元件敏感器的性能。在需要考慮應變計的壽命時，可以在貼片前適當增加疲勞次數，而貼片后適當減少疲勞加載次數。
（4）冷處理。該方法是建立在使光電元件淬火后材料中的剩余奧氏體轉變為馬氏體基礎上的一種阻值穩定的處理。一般是在淬火、第一次回火后，冷卻到60度時放入低溫環境中進行保溫處理。
一般光電開關元件敏感材料的淬火溫度約為850°C（油冷），回火溫度在400~500°C，硬度為HRC34~48。
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